尺寸：48×48mm。
控制輸出：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(公共通用)。
電源電壓：AC00～240V。
端子類型：插入型。
輸入類別：全量程多輸入。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性E3-R3使用案例。
選擇、操作及設定簡便。
輸入輸出點數等的功能性能充實。
支持應用范圍更為廣泛。
采用高5.2mm的PV顯示(白色)，提高可視性E3-R3
實現50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(大3點)、事件輸入(大4點)、傳送輸出、
遠程P輸入功能，支持各種應用程序。
E5CC具有進深60mm的纖細機身E3-R3使用案例。
使用通信轉換電纜(另售)與計算機相連
后，無需電源接線即可設定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設定。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯合溫控器。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2m。E3-CD6-MJ檢測方式：擴散反射型，
連接方式：接插件中繼型（M2），
優越的型（輸入）
控制模式：標準控制、加熱冷卻控制E3-R3使用案例。
輸出（控制傳送）點數：2點（脈沖電壓點+脈沖電壓電流和電流2點）。
輸助輸出（U）點數：4點。
事件輸入點數：2點。
高速、及多重輸入輸出的通用型數字調節儀，
采用高可視性5位、3行液晶顯示器。
高速采樣周期適用于要求高速響應的操作。
利用帶背光液晶顯示器及3行顯示，可同時顯示當前值、目標值、操作量。
臺數字調節儀可進行多點控制串聯控制比例控制。
標準配備了各種運算功能。
配備DeviceNet通信功能。
借助通信程序可執行數據設定和數據。本體：直流3線式接插件型 (M2)。
形狀：屏蔽，M8。
檢測距離：.5mm。
動作模式：NO。
輸出形式：PNP。
惡劣環境下也不易損壞的接近傳感器。
全不銹鋼機架。
耐鋁碎屑。
可嵌入安裝至金屬（鐵）中。
由歐歐洲Ecolab公司認證的耐化學藥品性E3-R3指導手冊。
備有導線引出型、直流3線NPN輸出、、氟樹脂涂層型E3-R3指導手冊。具有更大的傳感距離的安全安裝。
尺寸：M2，屏蔽。
檢測距離：4mm。
連接方式：導線引出型。
機身材料：黃銅。
螺紋長度（總長度）：56(72)。
輸出形式：NPN。
動作模式：NO。