監測2波長的等離子發光量。
實現了高精度、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格ZFV-SR50技術指標。高精度測量清潔室及工作間的內外壓差。
超大量程高精度測量。
搭載SD卡插口。
利用LAN端口連接，可簡單地建立監視系統ZFV-SR50
配備可將記錄數據簡單圖形化的PC軟件。
用環境可視化軟件 （可選件），可實時以波形、
平面圖的形式顯示檢測數據。種類：照射頭單元。
產品名稱：標準照射頭；高性能型ZFV-SR50技術指標。
電纜長度：2m。
UV-LED照射器的成本革命。
熱損傷較小的UV-LED照射。
照射頭裝有大幅度提高了亮度的新UV-LED。
通過增強照度縮短了粘合節拍。
采用40,000小時*長壽型LED，大幅降低運行成本。
與原有燈泡 (LAMP) 方式相比，實現約1/8的超緊湊本體。
搭載可簡單、準確設定的彩色液晶顯示器。種類：可選件。
品名：底座（ZR-RX45用）。
有力支持著所有現場的測量場合。
安心的全通道絕緣、支持多功能輸入。
最大200CH的擴展性 （ ZR-RX45）。
簡單LAN連接 （ ZR-RX45/ZR-RX70）。
分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。基本型開關ZFV-SR50技術指標。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。光學系統：漫反射型。
檢測距離：600正負350mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：16mm×0.3μm。
分辨率：8μm。
電纜長度：0.5m。輸入輸出電纜。
電纜長度：2m。
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。分類：標準型。
接點間隔：G(0.5mm)。
驅動桿：擺桿，OP小。
端子的種類類：螺絲端子ZFV-SR50使用說明書。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達155A，且精度高ZFV-SR50使用說明書。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。